溅射薄膜芯体又一新突破

今天,在公司例行的技术分析会上,由宇鸿研发团队向公司首席科学家李阳博士汇报上周技术研发工作进度情况。宇鸿敏芯研发团队在公司首席科学家李阳博士及团队带领下,成功实现溅射薄膜芯体又一工艺突破——小量程 1MPa裸芯体1000V工频耐压通过率突破80%!扩大了我公司溅射薄膜压力传感器在轨道交通领域的竞争优势,国产高端传感器在极端电气环境下的可靠性已迈上新台阶。

(图)部分实验数据
轨道交通设备需在高压环境下长期稳定运行,而溅射薄膜压力传感器相对于其他工艺的传感器有极其稳定的温漂性能和抗震动性。但国内的溅射薄膜压力传感器工频耐压参数普遍都在400伏到600伏之间。我公司60MP的溅射薄膜压力传感器工频耐压参数是1000伏并且已是量产,李阳团队带领我公司研发团队,通过膜层工艺革新和设备参数优化,成功将1MPa小量程裸芯体的1000伏耐压通过率由原不足10%的合格率提升至80%以上,已处于国内领先地位。
直接赋能轨道交通核心系统:
供电网络 :强化接触网绝缘监测能力,预防高压故障
制动系统 :高压环境下精准传输刹车指令,避免信号失真
转向架监测 :实时感知列车动态载荷,提升运行安全裕度
“耐压性能是轨道交通安全门的守门员。”我公司将继续深耕高压、高频等极限工况传感技术,为国家重大装备打造永不失效的“神经末梢”。